德国Freiberg Instruments公司 X射线单晶衍射仪（XRD）

锘海生物科学发布时间：2018/08/30 15:37 点击: 加载中..

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Omega/Theta X射线衍射仪（XRD）

德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta XRD针对半导体晶体材料和光学材料生产研发，采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向，具有全球领先的单晶X射线衍射仪（XRD）技术。德国博世(Bosch)公司的石英振荡器晶体产量因为这个设备这个技术从55%直接提升至95%。Omega/Theta X射线衍射仪（XRD）以前是德国EFG公司的技术，2015年EFG公司被德国Freiberg Instruments公司收购。

Omega/Theta X射线衍射仪（XRD）设备可集成至全自动生产线中，是全球领先的可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。可测材料类型有Si、Ge、SiC、Al2O3（蓝宝石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体，可测整块晶体取向mapping（独家），直径最大可到590mm（可根据需求定制更大检测尺寸），检测精度高（0.003°），可测摇摆曲线检测晶体质量。检测速度快（5s/试样），制样简便，可集成至全自动化生产线中，快速晶体质量检测分拣（日处理量最高可达5000片），极大程度上提高产量和质量。除此之外，德国Freiberg Instruments公司还有针对小型试样研发测试用的桌面型DDCOM XRD和SDCOM XRD可供选择。

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DDCOM XRD SDCOM XRD

德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta X射线衍射仪系列（XRD）在欧美等国家晶体生产研发巨头企业广泛使用，如美国IPG Photonics公司用于光学晶体生产研发、美国II-VI Advanced Materials公司用于SiC晶体生产研发、美国Crystal IS 公司用于SiC生产研发、德国Si Crystal公司用于SiC晶体生产研发等、波兰热舒夫理工大学用于单晶涡轮叶片生产研发。

德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta X射线衍射仪系列（XRD）在国内已有200多家客户，如蓝思科技用于蓝宝石晶体生产研发、四联集团用于蓝宝石晶体生产研发、协鑫集团用于蓝宝石晶体生产研发、广东惠伦晶体用于石英晶体生产研发，中电五十四所时频事业部用于石英晶体研发等。

应用实例：

1.蓝宝石摇摆曲线测量：窄反射峰=表面质量好

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